瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001

VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001詳細技術解析

產品基本規格

• 型號：61332-KAAF-0001

• 類型：高真空蝶形控制閥

• 制造商：VAT Group（瑞士）

• 系列：61系列高溫應用閥門

關鍵性能參數

1. 真空范圍：

• 工作壓力：10?? mbar至大氣壓

• 漏率：<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）

2. 溫度特性：

• 標準工作溫度：-20°C至+150°C

• 高溫版本可選：最高可達+250°C

• 烘烤溫度：最高+150°C（持續）

3. 機械特性：

• 標準：氟橡膠(FKM)

• 可選：全金屬密封(適用于高溫/腐蝕環境)

• 閥體材料：不銹鋼316L

• 密封材料：

• 法蘭標準：ISO-KF、CF或客戶定制

4. 控制特性：

• 控制方式：氣動執行（標準）

• 響應時間：<100ms（全開至全關）

• 位置反饋：可選模擬量(0-10V)或數字信號

半導體行業典型應用

1. 刻蝕設備：

• 用于Cl?、HBr等腐蝕性氣體環境

• 在等離子體刻蝕腔室的真空隔離

2. 薄膜沉積系統：

• CVD/PVD設備的真空維持

• ALD系統的快速氣體切換

3. 離子注入機：

• 束線隔離與真空分段控制

4. 晶圓傳輸系統：

• 負載鎖(Loadlock)的快速抽真空控制

替代型號參考

維護與使用注意事項

1. 安裝要求：

• 需使用專用安裝夾具避免閥體變形

• 法蘭連接需使用高純度無塵密封圈

2. 操作規范：

• 使用前需進行至少3次空載開閉測試

• 系統抽真建議手動預關閉閥門

3. 維護周期：

• 常規維護：每6個月檢查密封性

• 全面檢修：每50萬次循環或2年（以先到為準）

4. 故障排查：

• 常見問題：響應延遲（檢查氣源壓力）

• 漏率增大（檢查密封面清潔度）

• 常供型號：

• 商品編號61328-KACN-0001

• 商品編號61344-PACF-0001

• 商品編號61332-KECN-0001

• 商品編號61328-KAAQ-0001

• 商品編號61344-PECF-0001

  商品編號61332-KACN-0001

• 商品編號61328-KEAQ-0001

• 商品編號61344-PECQ-0001

• 商品編號61328-KAAF-0001

• 商品編號61348-PAGH-0001

• 商品編號61332-KAGH-0001

• 商品編號61328-KEAF-0001

• 商品編號61328-KECN-0001

• 商品編號61332-KEGH-0001

• 商品編號61338-PAGE-0001
  

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001