瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

1. 產品基礎信息

• 型號：61340-PACX-0001

• 類型：氣動高真空蝶形控制閥（金屬密封，快響應型）

• 品牌：VAT Group（瑞士，專精超高真空解決方案）

• 核心定位：面向半導體、光伏及科研領域的高動態流量控制場景

2. 關鍵設計特性

① 閥體與密封系統

• 材質組合：

• 閥體：316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.5 μm）

• 蝶板：鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕，適用于刻蝕/CVD工藝）

• 密封：全金屬密封（金包覆不銹鋼，漏率 <1×10?? mbar·l/s）

② 驅動與控制

• 執行機構：

• 氣動驅動（雙作用），響應時間 <50 ms（一梯隊）

• 可選電動執行器（步進電機，開度控制精度 ±0.1%）

• 反饋系統：

• 標配模擬量輸出（0-10V對應0-100%開度）

• 可選數字通信（PROFIBUS DP或DeviceNet）

③ 法蘭與連接

• 法蘭標準：

• ISO-KF（DN40至DN160）、CF（2.75"至8"）

• 支持SEMI標準定制（如NW法蘭）

• 接口選項：

• 氣路接口：1/4" NPT或Swagelok VCR

• 電氣接口：M12航空插頭（IP67防護）

3. 性能參數詳解

4. 半導體行業應用場景

① 刻蝕設備（Etch）

• 功能：腐蝕性氣體快速切斷（如Cl?/HBr等離子體環境）

• 定制需求：Al?O?鍍層蝶板 + 雙密封結構（冗余設計）

② 原子層沉積（ALD）

• 優勢：

• 超快響應（<30 ms脈沖控制）匹配前驅體脈沖注入

• 漏率 <5×10?1? mbar·l/s 確保薄膜純度

③ 離子注入機

• 關鍵指標：

• 無磁化設計（鈦合金材質）避免束流干擾

• XHV級密封（烘烤后漏率維持10?1? mbar·l/s）

5. 選型對比（同系列型號）

6. 安裝與維護要點

① 安裝規范

• 扭矩控制：

• 法蘭螺栓扭矩 ≤15 Nm（ISO-KF）、≤25 Nm（CF）

• 對中要求：

• 軸向偏差 <0.1 mm，角度偏差 <0.5°

② 維護周期

• 預防性維護：

• 每50萬次循環檢查密封面磨損（原廠提供磨損檢測工具包）

• 深度保養：

• 每2年更換驅動機構潤滑脂（VAT專用真空潤滑脂 P/N: LUB-VAC-002）

  瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

常見問題速查

Q：能否兼容EUV光刻機的真空環境？
→ 可以，但需選配特殊潔凈版（后綴加“-EUV"，顆粒釋放率降低50%）

Q：與MKS 649B的互換性？
→ 需驗證法蘭接口和控制信號匹配，通常需轉接板（VAT提供適配方案）

Q：最小訂單量（MOQ）？
→ 原廠1臺起訂，批量（≥5臺）可享8%折扣

優勢供應：

商品編號61328-KAGH-0001

商品編號61328-KEGH-0001

商品編號61346-PEAH-0001

商品編號61332-KEAK-0001

商品編號61346-PACE-0001

商品編號61348-PEAX-0001

商品編號61328-KEGE-0001